采購型號：卓水越電子級超純水系統ZYUP-DEH-2500L

采購單位：四川某新材料公司

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超純水設備在新材料領域的應用主要體現在以下方面：

半導體制造

超純水通過雙級反滲透、EDI及拋光混床等工藝，產出電阻率超過18.2 MΩ·cm的純水，用于晶圓清洗、化學試劑配制及封裝工藝。其高純度可避免金屬離子、有機物等雜質干擾光刻、蝕刻等精細操作，直接影響芯片良率和可靠性。 ?

鋰電池生產

鋰電池制造需使用超純水清洗電極材料、配制電解液，高純度可減少雜質對電池性能的影響，提升充放電效率和安全性。 ??

太陽能電池

超純水用于硅片清洗和化學試劑配制，其低TOC（總有機碳）特性可避免有機物殘留影響光電轉化效率。 ??

化工廢水處理

中電環保等企業通過全膜法、樹脂吸附等技術，將超純水應用于新材料生產廢水處理，實現廢水回用及排放，降低生產成本并減少環境污染。

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ZYUP系列

高純水制備系統

產品說明

ZYUP系列高純水制備系統，亦稱超純水制備系統，是通過陰陽離子混床樹脂或EDI電除鹽裝置把純水純化為符合一級水標準的高度超純水；通過離子交換法，使氫型樹脂交換水中的陽離子、氫氧型樹脂交換水中的陰離子，交換下來的H+和OH-結合成電離度很小的高純水（H20）；離子交換是一種傳統的、工藝成熟的脫鹽處理技術，在制備高純水領域得到了廣泛應用。

              技術參數：

u 產水量：0.25m3 /h ～ 50 m3/h   (參考用戶用水量選型)；

u 離子去除率 ≥ 99%；

u 內毒素、細菌去除率：≥ 99%；總有機碳（TOC）≤20ppb；

u 回收率：≥50% ～ 75% ；

u RO產水電導率：≤ 10～15uS/cm @25℃（原水水質TDS ≤ 400ppm）；

u UP產水電阻率：≥10～18.25MΩ.cm(可根據用戶水質要求選取達標的工藝)；

u 出水標準：符合美國ASTM純水水質標準；符合美國半導體工業用純水指標；符合中國電子級水【GB/T11446.1-2013】水質標準。

u 進水要求：市政供水； 供水壓力：0.2～0.4MPa；進水溫度：5～40℃；

u 環境溫度：5-40℃，濕度＜85%RH，無粉塵和強電磁干擾；

性能特點：

u 全自動PLC控制系統，7/10寸觸摸顯示屏；

u 具有開機自檢，缺水停電自動停機保護，來水自動開機制水，無壓力保護系統，水滿停機等安全裝置；

u 預處理系統具備自動清洗和自動再生運行功能；

u 具備開機RO膜自動沖洗和水箱水滿自動雙沖洗功能，可延長RO膜壽命；

u 具備水質在線監測（電導率、電阻率雙顯示），流量和壓力在線顯示；

u 機架式設計，結構緊湊，外形美觀，操作方便，實現人機對話，而無需專人值守；

u 設備故障具備自動報警提醒功能；

u 出水水質優良、穩定，出水pH接近中性；

u 核心部件（泵、RO膜、拋光混床樹脂、EDI電除鹽裝置等）采用進口/ 國產合資品牌，穩定性高；

u 設備機架采用不銹鋼材質，低壓管路為UPVC材質，高壓管路采用SUS304/316不銹鋼材質；管路材質多種可選；